项目

数据

基本规格

设备形式：室内放置式

温度：23±1℃

湿度：53±5%

机台封面：聚丙烯瓷白PP板材（厚度≥10mm）

机台主体强度结构：整体骨架表面喷涂处理Or China SUS 矩形材

机台视窗：透明、抗静电透明PVC（厚度≥5mm）

选配模块

• 一用一备或单桶式
• 具备循环过滤功能，科更具客户要求配多组循环、过滤系统
• 当其中一支桶内药液用完时，自动切换至另外一个药液桶
• 具备化学液的取样监测功能
• 可结合客户端通讯协定资料存储、CIM系统、资料分析存储建立管理

排风系统

排风强劲合理设计，为了排风效果达到要求，排风通道内设有风量导流板，为了方便操作人员及时根据情况调节排风量，操作人员可小范围调节机台排风背板上的可拆卸式排风口再配合机台视窗上的可调节进气模块，从而达到使用效果

机台特点

• 化学品集中持续不断的供应，多点分配
• 设有防气泡装置，防止因气泡影响配液精度
• 可同时防置两个20L/50L200L的化学桶
• 化学品大输出流量：≤60L/min
• 定时补充药液或定量补充药液，参数均可在触摸屏上进行设定
• 多级别用户工艺数据库，可供用户使用和存储
• 作业区内有害气体多种安全主动及被动保护相结合，保证操作人员作业环境及人身安全
• 客制化设计能力佳，搞设计能力满足客户制程工艺需要

制程控制

PLC控制方式

操作界面

全图形化中文彩色人机界面（10.4彩屏）

设备制造

苏州尚纯半导体设备有限公司