项目

数据

基本规格

机台封面：聚丙烯瓷白PP板材（厚度≥10mm）

机台主体强度结构：整体骨架表面喷涂处理Or China SUS 矩形材

机台视窗：透明、抗静电透明PVC（厚度≥5mm）

适用对象

名称                规格（mm）        长度（mm）         每批清洗量（预估）

多晶硅芯              Φ7-10            2000-2800               24-26支

横梁                  Φ7-10             300-500                 若干

基座料                Φ40-50            250-300                 若干

硅芯原料             Φ120-150          2000-2800                1支

选配模块

• 采用纯水隔离式或风帘隔离式可选
• 更全面的全自动干燥系统
• 可结合客户端通讯协定资料存储、CIM系统、资料分析存储建立管理

排风系统

排风强劲合理设计，为了排风效果达到要求，排风通道内设有风量导流板，为了方便操作人员及时根据情况调节排风量，操作人员可小范围调节机台排风背板上的可拆卸式排风口再配合机台视窗上的可调节进气模块，从而达到使用效果

机台特点

• 刻蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性
• QDR冲洗模块非常见排序式，可根据制程工艺设定
• 更全面的自动干燥系统
• 管路系统、电气控制系统、伺服电机及丝杠导轨等关键核心部件均采用进口标准产品
• 保修便利，非期货库存品工厂内均建立安全库存品
• 全程自动化控制，几何曲线加减速运动，冲击小运行平稳，机械臂定位精度高
• 多级别用户工艺数据库，可供用户使用和存储
• 作业区内有害气体多种安全主动及被动保护相结合，保证操作人员作业环境及人身安全
• 客制化设计能力佳，搞设计能力满足客户制程工艺需要

机械臂装置

Robot的工艺路径种类 N种（设备出厂前载入PLC内）

机械手传送定位精度 ≤0.3mm

机械臂走向 右进做出或左进右出

制程控制

PLC控制方式

操作界面

全图形化中文彩色人机界面（10.4彩屏）

槽体数量

根据制程要求选择定制

设备制造

苏州尚纯半导体设备有限公司