项目

数据

基本规格

机台封面：聚丙烯瓷白PP板材（厚度≥10mm）Or China SUS板材（厚度≥2mm）

机台主体强度结构：整体骨架表面喷涂处理Or China SUS 矩形材

机台视窗：透明、抗静电透明PVC（厚度≥5mm）Or China 钢化玻璃（厚度≥2mm）

选配模块

• 槽内旋转
• 腐蚀液循环过滤系统
• CDS补液
• 废液回收
• 可结合客户端通讯协定资料存储、CIM系统、资料分析存储建立管理

机台特点

• 刻蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性
• QDR冲洗模块非常见排序式，可根据制程工艺设定
• 管路系统、电气控制系统等关键核心部件均采用进口标准产品
• 保修便利，非期货库存品工厂内均建立安全库存品
• 多级别用户工艺数据库，可供用户使用和存储
• 作业区内有害气体多种安全主动及被动保护相结合，保证操作人员作业环境及人身安全
• 客制化设计能力佳，搞设计能力满足客户制程工艺需要

制程控制

PLC控制方式

操作界面

全图形化中文彩色人机界面（10.4彩屏）

槽体数量

根据制程要求选择定制

设备制造

苏州尚纯半导体设备有限公司