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ASTRON®系列远程等离子体源基于NF3等含氟气体电离，产生活性气体，广泛地应用于CVD等工艺腔清洗，它具有功率大，效率高等特点。产品有：
•ASTRON®Paragon AX7700 (6升)，新一代远程等离子体源
•ASTRON®i AX7670 (3升)
•ASTRON®ex AX7685 (6升)
•ASTRON®hf-s AX7645 (15升，分体式)
•ASTRON®hf AX7640 (15升)
•ASTRON®hf+ AX7635 (22升)
•ASTRON®G7 AX7667 (30升)
