残余气体分析仪(RGA)/质谱仪

残余气体分析仪(RGA)/质谱仪

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2023-04-16 12:11:51
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产品简介

•MicroVision2产品的技术是基于MKS残余气体分析质谱传感头和气体监控系统的核心技术,利用的射频电路模块和数据采集电路模块,其拥有的性能,为要求的应用所需;双CPU提供了高稳定的运行、快速和宽范围的动态扫描,使得工艺偏差和气体成分改变的监测变得很容易及的通讯功能

详细介绍

•MicroVision 2 产品的技术是基于 MKS 残余气体分析质谱传感头和气体监控系统的核心技术, 利用的射频电路模块和数据采集电路模块, 其拥有的性能, 为要求的应用所需;双CPU提供了高稳定的运行、快速和宽范围的动态扫描, 使得工艺偏差和气体成分改变的监测变得很容易及的通讯功能。 灵活的输入输出性能,易与机台和其他传感器连接。质量数范围:1-300 可选,双检测器配置。

•eVision™ 2 基于以太网口的低成本的残余气分析仪。 利用Web浏览器或通过 EasyView 软件方便地操作系统。质量数范围:1-200 可选,双检测器配置可选。


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