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上游压力控制阀和压力控制器

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148J金属密封压力控制阀，流量范围：10–20000sccm

148J 金属密封压力控制阀，流量范围：10 – 20000sccm。

248A 橡胶密封压力控制阀，流量范围：10 – 50000sccm。

154A 大流量橡胶密封压力控制阀，流量范围：20 – 200slm。

250E 气体压力/流量控制器。其输入压力或流量信号，通过PID闭环控制模块，控制压力阀和(或)质量流量控制器

1249A 压力控制阀驱动器

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