下游压力控制阀和压力控制器
T3BIA集成了控制和驱动器的蝶式节流阀 参考价面议
上游压力控制阀和压力控制器
148J金属密封压力控制阀，流量范围：10–20000sccm 参考价面议
臭氧发生器集成系统
•O3MEGA®AX8561桌上型/标准机柜安装集成流量、压力控制的臭氧发生器系统•SEMOZON®AX8560桌上型/标准机柜安装臭氧发生器系统•SEMOZON®AX8550单独柜式二通道臭氧发生器集成系统•SEMOZON®AX8555单独柜式四通道臭氧发生器集成系统•SEMOZON®AX8575单独柜式多通道臭氧发生器集成系统，可集成冷却水交换器 参考价面议
臭氧发生器
•SEMOZON®AX8407高浓度、高流量臭氧发生器 参考价面议
残余气体分析仪（RGA）/质谱仪
•MicroVision2产品的技术是基于MKS残余气体分析质谱传感头和气体监控系统的核心技术，利用的射频电路模块和数据采集电路模块，其拥有的性能，为要求的应用所需；双CPU提供了高稳定的运行、快速和宽范围的动态扫描，使得工艺偏差和气体成分改变的监测变得很容易及的通讯功能 参考价面议
ZDF-5227AXv01复合真空计
ZDF-5227AXv01复合真空计技术参数：测量范围：（Pa）1.0×105～1.0×10-5有效范围：（Pa）3.0×103～1.0×10-5参考范围:（Pa）1.0×105～3.0×103配接规管：ZJ-52T,ZJ-27测量路数：2路（ZJ-52T低真空规管应和ZJ-27高真空规管安装在同一个测量点）显示路数：2路显示方式：五位LED数字显示 参考价面议
反应气体发生器
ASTRON®系列远程等离子体源基于NF3等含氟气体电离，产生活性气体，广泛地应用于CVD等工艺腔清洗，它具有功率大，效率高等特点 参考价面议

搜索历史