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日本 IWATA 无油涡旋式真空泵
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伯东公司 （德国pfeiffer中国总代理） 检漏仪高压电气开关检漏
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伯东公司总代理世界* CTI-CRYOGENICS 冷凝泵（低温泵）
面议伯东公司代理日本岩田 IWATA 无油干泵
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伯东公司代理脉冲激光沉积/激光分子束外延 PLD/Laser-MBE
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伯东公司代理磁控溅射系统 Sputter
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伯东公司代理电子束蒸发台/热阻蒸发台E-beam/Thermal Evaporator
面议伯东公司代理美国真空设备包括等离子增强化学汽相沉积系统PECVD、电子束蒸发台/热阻蒸发台E-beam/Thermal Evaporator、等离子刻蚀机 RIE/ICP、磁控溅射系统 Sputter、脉冲激光沉积/激光分子束外延 PLD/Laser-MBE。
等离子刻蚀机 RIE/ICP 产品特色：腔室温度控制范围：室温~
应用领域：适用于各种金属、Si、SiO2、SiN、GaAs、GaN等II-VI族和III-V族材料的刻蚀
