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日本 IWATA 无油涡旋式真空泵
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脉冲激光沉积/激光分子束外延 PLD/Laser-MBE产品特色:全自动控制、极限真空<5E-10Torr、钼制或PBN衬底加热台、zui高温度
应用领域:适用于半导体、高温超导、类金刚石、生物陶瓷等薄膜的沉积。