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面议伯东公司代理电子束蒸发台/热阻蒸发台E-beam/Thermal Evaporator
面议伯东企业(上海)有限公司,专业代理日本 IWATA 无油涡旋式真空泵在中国的销售及售后服务工作。
IWATA 无油涡旋式真空泵包含 ISP-90/250 B/500 B等型号。
ISP真空泵采用双层重叠方式,
可适用于从大气压到zui后压力的广泛压力领域。
IWATA 无油涡旋式真空泵业界体积zui小,噪音极低,
不存在返油问题,保持真空环境清洁。
可应用于喷镀、蒸镀、离子镀装置,真空包装机,
加速器和真空热处理炉等领域。
型号Model | ISP-90 New | ISP-250B | ISP-500B | ISP-1000 | |
设计排气速度 Displacement | L/min(50/61Hz) | 90 / 108 | 250/300 | 500/600 | 1000/1200 |
zui后压力 Ultimate pressure | Pa {Torr} | 5 {3.8×10-2} | 1.6 {1.2×10-2} | 1.0 {7.5×10-3} | |
电动机输出 Motor power | kW | 0.15 | 0.4 | 0.6 | 1.4 |
电压 Voltage (V) | 单相 Single phase | 100、115 / 200、230 | 100、115 / 200、230 | - | |
三相 Three phase | 无 | 200、208、230 / 380、415、460 | |||
泄漏量 Leak rate | Pa?L/s {mbar?L/s} | ≦1x10-2 | |||
外形尺寸 Dimensions (mm) | 单相 Single phase | L308×W214×H225 | L400×W252×H336 | L443×W328×H372 (L443×W298×H397) | L467×W390×H451 |
三相 Three phase | 无 | L370×W252×H336 | L372×W328×H372 (L372×W298×H397) | L467×W390×H451 | |
吸气口径 Inlet connection | NW25 | NW25 | NW40 | ||
排气口径 Outlet connection | NW16 | NW16 | NW25 | NW40 |