等离子净化器又称低温等离子废气净化器，在电催化总的设计概念下，分三个即独立又混成的激发系统：微波激发区、等离子激发区、极板激发区。每个激发区有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

低温等离子废气净化器采用了的吸附-分解-碳化离心式抽风安装新工艺技术设计，采用标准模块设计等优点，是一种干法处理有用废气的净化设备。它改变了使用活性碳材料的工艺技术，无需处理原料，无需专人负责，不产生二次污染，换及维护保养方便。

低温等离子废气净化器主要采用脉冲高频高压等离子体电源和双介质齿板放电装置，顶部放电形式产生高浓度离子。等离子体是一种聚集态物质，其所拥有的电子能在毫秒级的时间内，瞬间击穿空气和废气分子，发生一系列分化裂解反应，产生高浓度、强度好、活性自由基和各种电子、离子等，在与机废气中的分子碰撞时会发生一系列基元物化反应，并在反应过程中产生多种活性自由基和生态氧，即臭氧分解而产生的原子氧。

低温等离子废气净化器在废气处理工程中的应用较为广泛，其主要工艺流程主要由以上六大部分组成。

工艺流程

气体收集系统—预处理喷淋洗涤系统—低温等离子净化系统—尺度气体吸附催化系统—排放系统—控制系统气体收集系统主要是将构筑物自由挥发的气体收集起来并输送到后续处理系统。具体包括气罩系统、管道输送系统和风机。

低温等离子废气净化器工作原理

废气处理中洗涤系统用来和废气在洗涤塔内进行预处理化学反应，去处粉尘且通过化学反应后的气体达到废气主打产品净化处理，具体包括一对一填料、喷淋装置、脱水层、风机、加药系统等。

低温等离子废气净化器内部装有的碰吸单元，截留去除废气中的颗粒物质，废气收集系统收集的多元素气体经过等离子活性氧净化装置，在高压等离子电场的作用下，电离初始态氧将其中的废气离子进行电离荷电净化，带电的微小离子(尘埃粒子)被吸附单元所收集并流入和沉积到气体处理装置的储尘箱内，气体内的无具体以临床效果为主体被电场内所产生的臭氧所具体以实际为主，并去除了异味，无具体以临床效果为主体被除掉，达到废气处理的目的。