优势：

• 处理腔室加热，安全紧急停止；
• 氮气加热，安全紧急停止；
• *从正面操作；
• 安全可靠的伺服电机，EN954-1，类别3；

选配件：

电导率测量

抗静电设备

回收去离子水

另外配件：

氮气外部压力调节器

氮气流量计

产品参数：

主营产品：

Laurell匀胶机     

Harrick等离子清洗机

Thetametrisis膜厚仪  

Microxact探针台

ALD原子层沉积系统

TRION反应离子刻蚀机

Uvitron紫外固化箱

NXQ紫外曝光光刻机       

Novascan紫外臭氧清洗机

Nilt纳米压印机

Wenesco/EMS/Unitemp/NDA加热板

Annealsys高温退火炉

Kinematic程序剪切仪

Laurell EDC系统，湿站系统     

Wabash/Carver自动压片机