特点：

÷ 直驱无刷微调电机

÷ 全轴电机驱动且*可编程

÷ 具有程序菜单管理功能的软件控制

÷ 带安全中断传感器的透明盖

÷ 旋转器盖传感器控制

÷ 通过触摸屏或按钮启动程序

÷ 7英寸彩色触摸屏PP制成的处理碗和台式外壳

÷ 外壳上的电源开关ON / OFF

÷ 配备标准的水坑喷嘴，通过水坑喷嘴注入溶剂

÷ 可拆卸处理碗和飞溅环，便于清洁

÷ 可处理圆形晶片，尺寸大为Ø200mm（Ø8英寸）

÷ 可处理方形基板，尺寸大为150 x 150毫米（6 x 6英寸）

÷ 标配多安装3个介质管线/喷嘴（可选：多5个介质管线/喷嘴）

÷ 可视真空控制仪

÷ 真空阀块和传感器的安全性由程序启动和系统运行来控制

÷ 含0.5 Itr的废液瓶

÷ 可选的带Z轴移动和PR分配系统的电动介质臂

÷ 可作为台式安装，也可做独立装置使用

÷ 简单且经济高效

÷ 专为研究所，实验室和基础研发而设计

应用于：旋涂，显影，清洁和干燥

产品参数：

可处理衬底尺寸：直径大为Ø200mm（Ø8英寸）圆片，或大为150 x 150毫米（6 x 6英寸）方片；

旋转速度：10,000rpm *，（以rpm步长为单位）；

加速度：4.000 rpm / sec *；

处理时间：1至999,9sec，以0.1秒为步；

处理碗：可更换，聚丙烯（PP）材质

腔体：白色（PP）材质

固定晶圆片或衬底的装置：真空托盘；

电源：230（208）VAC / 1Phase/ N / PE / 50（60）Hz

真空：-0.8 bar / -600 Torr，管外直径6 mm

排气-过程：1x外径38毫米，约 30立方米/小时

氮气（可选）：4土0.2 bar，PFA管外径6 mm

CDA（可选）：8土2bar，管外径8mm。

选配项：

适用各种尺寸大小的托盘

分配臂

泵