产品参数：

型号：M-HP 200 Hotplate热板  
处理尺寸：直径大8英寸晶圆片或大6 英寸x6英寸基板
温度范围：20°C至250°C可调
功率：600瓦
加热时间：从1到9999秒
热板表面安全盖材质：不锈钢
不带盖的热板尺寸：约350mm x 350mm x 200mm
控制器的尺寸：约135mm x 145mm x 95mm
台式柜的尺寸：约 460mm x 360mm x 325mm
重量：约200磅

主营产品：

Laurell匀胶机     

Harrick等离子清洗机

Thetametrisis膜厚仪  

Microxact探针台

ALD原子层沉积系统

TRION反应离子刻蚀机

Uvitron紫外固化箱

NXQ紫外曝光光刻机       

Novascan紫外臭氧清洗机

Nilt纳米压印机

Wenesco/EMS/Unitemp/NDA加热板

Annealsys高温退火炉

Kinematic程序剪切仪

Laurell EDC系统，湿站系统     

Wabash/Carver自动压片机