设计用于以下应用：旋涂或喷涂，显影，烘焙和冷却以及EBR

特点：

温度模块（电动）

加热板系统带有电动升降顶针

加热板模块（300°C）

电子驱动的升降针

标准的顶针由不锈钢和PEEK制成（250°C）

升降针，可编程（根据不同停止的速度和步长）

加热板表面上的真空管路用于固定基板

手动控制加热板的顶盖

集成式排气

半自动控制器单元：

7英寸彩色触摸屏

配方编辑器来编写，管理和配置

实际可视化效果监控

用于配方，流程，日志文件的库功能（例如，错误跟踪历史记录）

具有密码保护服务访问权限的用户管理

通过USB或Intranet连接进行更新和备份功能

 产品参数：

基板尺寸：大直径200毫米（直径8英寸）圆片或200x 200毫米（8 x8英寸）方片；

温度范围：300°C *，以1°C/步可调；

温度精度：在100°C时<士1°C；

升降针(1套）：直径50 mm（直径2英寸）到直径200 mm（直径8英寸）或200x 200mm（8 x8英寸）；

加热台表面：由硬质阳极氧化铝制成；

加热台顶盖：由微抛光不锈钢制成；

加热台外壳：由PP制成；

控制器单元：7寸触摸屏；

电压：230（110）VAC / 1Ph / N / PE / 50（60）赫兹；

CDA：8 bar，管外径6 mm；

真空：-0.8 bar / -600bar，管外径6 mm；

排气炉：1 x 外径 40毫米，80立方米/小时；

氮气（可选）：4土2bar，管外径6 mm；