垂直氧化系统 __ 8寸系列

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2021-12-07 08:38:44
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产品简介

产品信息简介：垂直氧化系统应用于IC集成电路、MEMS、电力电子器件、光电子器件等领域，6、8晶圆的氧化、合金退火等工艺

详细介绍

  • 产品信息
    简介：
     
    垂直氧化系统应用于IC集成电路、MEMS、电力电子器件、光电子器件等领域，6”、8”晶圆的氧化、合金退火等工艺。
     
    产品性能：
     
    ◆立式结构，高效产能，150片/批
     
    ◆配套标准成套工艺，满足客户需求
     
    ◆稳定优良的成膜均匀性，重复性好
     
    ◆微环境低氧控制*技术
     
    ◆高集成度，完整的工厂MES系统对接，符合SECS/GEM等标准
     
    配套工艺：
     
    ◆氧化：干氧/湿氧（DCE,HCL）
     
    ◆氮、氢退火，烧结、合金，固化等
     
    ◆快速热退火
     
     
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