立式HVPE

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参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2021-12-07 08:44:32
91
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青岛华旗科技有限公司

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产品简介

产品信息简介:用于在蓝宝石、碳化硅等衬底上外延生长GaN薄膜、厚膜及晶体生长,及AIN等外延生长

详细介绍

  • 产品信息
    简介:
     
    用于在蓝宝石、碳化硅等衬底上外延生长GaN薄膜、厚膜及晶体生长,及AIN等外延生长。
     
    产品性能:
     
    ◆工作温度:200~1200℃
     
    ◆结构方式:水平/垂直,片数:1/3/6/多片(科研/生产型)
     
    ◆双温区,动态高精度生长条件控制
     
    ◆低压、常压、微正压工艺方式,衬底片升降、旋转(厚膜/晶体生长)
     
     
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