科研型LPCVD系统 __ 水平系列

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2021-12-07 08:41:14
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产品简介

产品信息产品性能:◆满足2~8(12)寸晶圆工艺◆占地面积小

详细介绍

  • 产品信息
    产品性能:
     
    ◆满足2~8(12)寸晶圆工艺
     
    ◆占地面积小,水平多管/立式单管
     
    ◆3温区,300mm,5~25片/批
     
    ◆温度:200~1000℃
     
    配套工艺:
     
    ◆多晶硅P-Si,氮化硅Si3N4,氧化硅SiO2
     
    ◆磷硅玻璃PSG,硼磷硅玻璃BPSG
     
    ◆TEOS,LTO,HTO,SIPOS...
     
     
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