垫片式PGH系列气体过滤器
● 关于混合过滤器精密过滤精度的气体过滤器的入口/出口的接口部分安装垫圈型气体过滤器，可以对配管中的0.3μm以上或者1μm以上的大粒子进行初步过滤，可以发挥防止精密气体过滤器和流量控制器的堵塞，防止金属密封阀等的密封不良造成的气体泄漏等作用。 参考价面议
PTFE滤芯STF-3000系列气体过滤器
● 高过滤精度过滤膜采用PTFE，多年使用都不会变形，具备安定的过滤性能。全部产品经过粒子计数、0.003μm的微粒子捕捉实验。● 低压力损失PTFE膜采用2层构造，同时兼具高过滤性能和高空孔率，压力损失低、流量高。● 高耐腐蚀性滤芯膜、滤芯支持体、O型密封圈等均采用氟化树脂，外罩采用SUS316L，气体接触部分全部精加工，粗糙度研磨至Rmax 0.5μm以下，经过静态处理。 参考价面议
金属滤芯RGF系列气体过滤器
● 过滤精度范围宽可以对应固定或脉冲方式下的0.1～10μm过滤精度。● 高耐腐蚀性过滤器没有采用腐蚀性材料，不用担心被腐蚀或者生成中间产物。● 排气特性和专用的烘烤加热器并用，APIMS方式测定的排气（水分量）能够达到1.2ppb。继续使用可以达到0.1ppb的水平。过滤器内部的杂质预先采用特殊洗净方式去除，排气性能更加出色。 参考价面议
哈司特镍合金UCH-M系列气体过滤器
● 全部材质采用哈司特镍合金®。● 高洁净度：全部产品交付出货时，内部经过特殊洗净，通入高纯度氮气的同时进行高温烘烤处理。● 高流量高压差的情况下，也能高效率的除去0.003μm以上の粒子。● 高耐热性能460℃● 具备10ℓ/min的小流量用到250ℓ/min的中流量用的各种型号供选择。● 低压力损失：和以前的金属过滤器相比较，压力损失极低、体积小巧且能够处理高流量的气体。 参考价面议
金属滤芯UCS-m系列气体过滤器
● 全部材质采用SUS316L不锈钢● 高清浄度：全部产品在交付前经过内部特殊洗净，通入高纯度氮气的同时进行高温烘烤处理。● 高流量、高压差下也可以高效去除0.003μm以上的粒子。● 高内热性 460℃● 具备10ℓ/min的小流量到250ℓ/min的中流量各种型号。● 低压力损失:和以往的金属过滤器相比，压力损失非常低，体积小巧但能够处理高流量气体。 参考价面议
金属滤芯UCD系列气体过滤器
● 过滤器材料全部采用SUS316L，不用担心腐蚀和中间产物，同时具备较高的耐热性能。● 使用氮气（N2）输入，当过滤器输入侧压力为0.2MPa、流量为90SLM时，输出侧压力损失△为0.05MPa。● 固定或脉动方式下过滤精度经CNC确认达到0.003μm，实现了超微ULSI的制造的成品率大幅度提高。 参考价面议
PTFE滤芯STF系列气体过滤器
● 高过滤精度过滤膜采用2层PTFE，多年使用都不会变形，具备安定的过滤性能。全部产品经过粒子计数、0.003μm的微粒子捕捉实验。● 低压力损失PTFE膜采用2层构造，同时兼具高过滤性能和高空孔率，压力损失低、流量高。特别是STF-4系列膜采用积层构造，有效过滤面积大、压力损失更加小。● 高耐腐蚀性滤芯膜、滤芯支持体、O型密封圈等均采用氟化树脂，外罩采用SUS316L，气体接触部分全部精加工，粗糙度研磨至Rmax 0.5μm以下，经过静态处理。 参考价面议
陶瓷滤芯SPC系列气体过滤器
● 超小型、轻量SPC系列是超小型（Φ21×84mm）、轻量（90g）设计。于安装在空间狭小的气瓶柜等装置的场合。● 高过滤精度滤芯采用多层构造的陶瓷、过滤精度非常出色。全部过滤器在交付时，经CNC粒子计数统计，确认0.003μm的粒子为零后才出货。● 低排气性能陶瓷过滤器和全金属过滤器相比，水分吸收量少，具有出色的排气性能。● 过滤器构造充分考虑抑制过滤器内部的气体滞留部分，具备出色的气体置换性。 参考价面议
PTFE滤芯TF系列气体过滤器
● 高过滤精度过滤膜采用2层PTFE，多年使用都不会变形，具备安定的过滤性能。全部产品经过粒子计数、0.01μm的微粒子捕捉实验。● 低压力损失过滤膜采用PTFE，多年使用都不会变形，具备安定的过滤性能。全部产品经过粒子计数、0.003μm的微粒子捕捉实验。特别是TF－4系列的膜采用积层构造，有效过滤面积大、压力损失小。● 高耐腐蚀性滤芯膜、滤芯支持体、O型密封圈等均采用氟化树脂，外罩采用SUS316L，气体接触部分全部精加工，粗糙度研磨至Rmax 0.5μm以下，经过静态处理。 参考价面议
集成式FI_SI_系列气体过滤器
● 高过滤精度高过滤精度的陶瓷单元类型（0.003μm）和金属单元类型（0.003μm）满足不同需要。● 具备多种型号C SEAL/H1G SEAL/W SEAL 均有对应型号。（C SEAL/W SEAL 也对应1.125英尺类型）● 宽流量范围从几个LPM小流量到120LPM的大流量的各种型号。 参考价面议
陶瓷滤芯PGF-11系列气体过滤器
● 超大流量适用于输入侧一次性流量在500～3,000ℓ/min的大型气体管线场合。● 高过滤精度0.003μm的高过滤精度，使用脉动性强的陶瓷元素，几乎不会堵塞，因此几乎没有必要进行定期性的维护。● 高性能专用的200℃烘烤加热器（可选项），能把水分、氧等成分控制在ppb以下。 参考价面议
陶瓷滤芯PGFL系列气体过滤器
● 高过滤精度、低压力损失在保持本公司以往产品PGF系列的高过滤性能的基础上，实现了低压力损失。外形尺寸与以往的PGF系列相同，处理能力达到了原来的约两倍。● 蚀刻和薄膜形成时必*高选择性在追求高选择性的过程中，极其重要的一点是去除水、氧气等不纯物的问题。为了切实地做到去除不纯物，首先必*，是在高温状态下进行烘烤。从该观点出发研制出的陶瓷过滤器可进行200℃的高温烘烤。● 零维护实现成本削减能够根据粒子粒径大小分阶段进行过滤的三层结构，因此几乎不会有堵塞的问题。并且与以往的过滤器相比，具有高耐久 参考价面议

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